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DeCS
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Descritor Inglês:
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Microtechnology
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Descritor Espanhol:
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Microtecnología
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Descritor Português:
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Microtecnologia
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Sinônimos Inglês:
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Microfabrication
Microfabrications
Micromachining
Micromachinings
Micromanufacturing
Micromanufacturings
Microtechnologies
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Categoria:
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H01.570
J01.897.520.500
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Definição Inglês:
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Manufacturing technology for making microscopic devices in the micrometer range (typically 1-100 micrometers), such as integrated circuits or MEMS. The process usually involves replication and parallel fabrication of hundreds or millions of identical structures using various thin film deposition techniques and carried out in environmentally-controlled clean rooms. |
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Nota Histórica Inglês:
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2009
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Qualificadores Permitidos Inglês:
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Número do Registro:
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53362
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Identificador Único:
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D055616
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Ocorrência na BVS:
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Similar:
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DeCS
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