Tecnologia de produção de dispositivos microscópicos na escala de micrômetro (tipicamente entre 1 e 100 micrômetros), como circuitos integrados ou MEMS (do inglês Micro-Electro-Mechanical Systems, sistemas micro-eletrônicos-mecânicos). O processo geralmente envolve a replicação e a fabricação paralela de centenas ou milhares de estruturas idênticas usando várias técnicas de deposição de filme fino que acontecem em salas de ambiente controlado.